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產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：1500高溫氧化爐系統(tǒng)應(yīng)用于246SiC或Si晶圓片的高溫氧化等的特殊工藝

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：用于IC集成電路、MEMS、功率器件、納米技術(shù)、光電子器件等領(lǐng)域

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：RTP系統(tǒng)用于IC集成電路，MEMS器件、光電子器件、LED、太陽能電池領(lǐng)域，適用于晶圓的快速熱處理工藝

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：全系列氧化/擴(kuò)散爐、LPCVD等設(shè)備的高質(zhì)量加熱爐體，滿足4、6、8、12、晶圓制造工藝，技術(shù)，專業(yè)制造，二十余年的專有技術(shù)制造的加熱爐體具有更寬...

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：全系列氧化/擴(kuò)散爐、LPCVD等設(shè)備的高質(zhì)量加熱爐體，滿足4、6、8、12、晶圓制造工藝，技術(shù)，專業(yè)制造，二十余年的專有技術(shù)制造的加熱爐體具有更寬...

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導(dǎo)體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應(yīng)配比系統(tǒng)

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導(dǎo)體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應(yīng)配比系統(tǒng)

產(chǎn)品信息產(chǎn)品性能：◆熱解+分解方式，節(jié)能、高效處理太陽能電池PECVD等設(shè)備的廢氣，將SiH4進(jìn)行高溫?zé)峤猓瑢H3直接進(jìn)行分解，無需氨水處理，無需燃燒

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導(dǎo)體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應(yīng)配比系統(tǒng)

產(chǎn)品信息產(chǎn)品性能：◆應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工藝）廢氣處理◆多級(jí)噴淋

產(chǎn)品信息產(chǎn)品性能：◆LPCVD、PECVD、刻蝕等的廢氣處理◆采用電熱/氣燃燒方式

產(chǎn)品信息產(chǎn)品說明：◆工作方式：鏈帶/輥道

產(chǎn)品信息主要用于各種功能材料如釤鈷、釹鐵硼等磁性材料、陶瓷燈材料的精密真空氣氛燒結(jié)、滲鏑滲氮、氫破、快速熱處理等工藝

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：主要用于釤鈷、釹鐵硼等磁性材料、功能材料的精密真空燒結(jié)、退火（快冷）等工藝產(chǎn)品說明：◆內(nèi)熱式

產(chǎn)品信息主要用于釤鈷、釹鐵硼磁性材料及功能材料的精密真空氣氛燒結(jié)、退火、時(shí)效（快冷）等工藝產(chǎn)品說明：◆高真空度：10-3/10-4Pa~正壓（0.4MPa）◆溫...

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：主要用于高性能釤鈷、釹鐵硼等磁性材料的精密真空氣氛燒結(jié)、退火（含快冷）等工藝產(chǎn)品說明：◆垂直雙室結(jié)構(gòu)（工藝腔、裝卸料冷卻腔）◆電阻/石墨加熱（高均...