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8"氧化LPCVD爐(小批量)

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更新時(shí)間:2023-02-25 08:01:43瀏覽次數(shù):69次

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產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介:RTP系統(tǒng)用于IC集成電路,MEMS器件、光電子器件、LED、太陽(yáng)能電池領(lǐng)域,適用于晶圓的快速熱處理工藝
  • 產(chǎn)品信息
    簡(jiǎn)介:

    RTP系統(tǒng)用于IC集成電路,MEMS器件、光電子器件、LED、太陽(yáng)能電池領(lǐng)域,適用于晶圓的快速熱處理工藝。
     
    產(chǎn)品性能:
     
    熱壁雙腔/鹵鎢燈加熱式/感應(yīng)加熱式
     
    結(jié)構(gòu)方式:水平/垂直
     
    溫度:200~1100℃
     
     
    配套工藝:
     
    快速退火、合金(RTA / RPP)
     
    快速氧化、氮化(RTO / RTN)
     
    快速氣相沉積(RTCVD)

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