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氣瓶架

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更新時間：2021-12-07 09:15:12瀏覽次數(shù)：53次

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產(chǎn)品信息簡介：特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導(dǎo)體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應(yīng)配比系統(tǒng)
  • 產(chǎn)品信息
    簡介：
     
    特氣柜（氣瓶柜）、氣瓶架、配比柜等：半導(dǎo)體制造行業(yè)易燃、易爆、腐蝕性、高純等特氣供應(yīng)配比系統(tǒng)。
     
    配氣及綜合控制系統(tǒng)，通過計算機(jī)遠(yuǎn)程終止顯示氣瓶柜/氣瓶架/配比柜等的運(yùn)行狀態(tài)及實(shí)時數(shù)據(jù)，將各種特種氣體精確、安全的、按工藝要求的壓力和流量等供應(yīng)至工藝設(shè)備，確保氣路系統(tǒng)安全、高效運(yùn)行。
     
    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、電子材料、太陽能電池行業(yè)、生物工程、醫(yī)藥衛(wèi)生、仿真等領(lǐng)域。
     
    產(chǎn)品性能：
     
    ◆完善的安全警報裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）、煙霧、火焰報警
     
    ◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動控制（含手動控制）
     
    ◆氣路設(shè)計合理完善，工作管路具備自動抽空、回充、壓力指示等功能，并帶有氣瓶稱重功能
     
    產(chǎn)品分類
    ◆按瓶數(shù)分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）
     
    ◆按氣體分類：氣瓶柜（易燃/易爆/腐蝕/有毒氣體，SiH4、PH3、HCL等）氣瓶架（高純、氬氣、氧氣等）
     

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