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EUV鏡/軟X射線(xiàn)鏡

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北京玉研精密儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我們提供各種高品質(zhì)的EUV（極紫外光刻）/ X射線(xiàn)聚焦鏡產(chǎn)品。

詳細(xì)介紹

鏡片種類(lèi)

· 鏡面形狀：平面，凸面，凹面，球面，圓柱面等

· 適用于各種波長(zhǎng)的多層鏡

· 各種單層薄膜（金屬，碳化物，氧化物等）鏡面

· 大型多層膜鏡（可達(dá)φ300mm）

· 高耐熱多層鏡

※ 我們也可提供硬X射線(xiàn)相關(guān)產(chǎn)品。

產(chǎn)品實(shí)例

Mo / Si多層鏡

· 這是一款可在13至30nm波長(zhǎng)下使用的多層膜鏡；
· 它能夠反射，濃縮和分離EUV光，多用于EUVL，X射線(xiàn)望遠(yuǎn)鏡，X射線(xiàn)顯微鏡，等離子體診斷，高次諧波利用等實(shí)驗(yàn)；
· 我們還制造耐熱多層鏡（具有阻擋層的多層膜），其間插入有中間層。
(H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p. 169, Vol. 4, 1996)

X射線(xiàn)鏡的示例性截面結(jié)構(gòu)和X射線(xiàn)反射的結(jié)構(gòu)視圖：

X射線(xiàn)鏡的示例性截面結(jié)構(gòu)和X射線(xiàn)反射的結(jié)構(gòu)視圖

反射實(shí)際測(cè)量值（直接入射角：2度）：

反射實(shí)際測(cè)量值（直接入射角：2度）

各種Mo / Si多層鏡：

各種Mo / Si多層鏡

φ100毫米凹面鏡：

φ100毫米凹面鏡

φ12英寸平面鏡：

φ12英寸平面鏡

用于Schwarzschild光學(xué)系統(tǒng)的凹面鏡：

用于Schwarzschild光學(xué)系統(tǒng)的凹面鏡，凸面鏡

分裂凹面鏡：

分裂凹面鏡

EUV鏡

EUV寬帶鏡和EUV窄帶鏡

· EUV寬帶反射鏡是一種多層反射鏡，可在比通常的多層薄膜更寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)反射，并用于多個(gè)階上的亮線(xiàn)反射。
· EUV窄帶鏡是具有比通常的多層膜窄的波長(zhǎng)半值寬度的多層鏡，并且它可以用于光譜測(cè)量等以選擇特定的發(fā)射線(xiàn)。

反射實(shí)際測(cè)量值（入射角：垂直入射2度）：

圖例為EUV寬帶球形多層反射器。一個(gè)Mo / Si寬帶多層膜在φ100mm的Zerodure基板上形成的圖像：

EUV分級(jí)鏡

· 這是一款多層膜鏡，它具有可精確控制的周期長(zhǎng)度，該周期長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)于在基板表面內(nèi)變化的入射角。可以在整個(gè)基板表面上實(shí)現(xiàn)高反射率。

· 我們將在直徑大于300毫米的彎曲基板上形成分級(jí)鏡。

· 下面的圖分別是形成在凹面鏡上的EUV梯度Mo / Si多層膜的反射率評(píng)估的實(shí)例，以及入射角從直接入射0°變化到直入入射角10°圖例。可以看出，電路板設(shè)計(jì)使得在入射角處測(cè)量的反射峰非常均勻。

分級(jí)鏡像結(jié)構(gòu)的示例。紅色箭頭代表光線(xiàn)。在基板中心附近，入射角是0度的直接入射角相應(yīng)的多層膜周期長(zhǎng)度短。隨著直接入射角朝向基板邊緣增加，多層膜周期長(zhǎng)度變長(zhǎng)：

掠入射鏡/全反射鏡

· 這款產(chǎn)品是用于EUV區(qū)域中的傾斜入射光學(xué)系統(tǒng)的全反射鏡。
· 我們將在各種基材（平面，凸面，凹面，球面，非球面，圓柱面等）上形成金屬，碳化物和氧化物。

反射實(shí)際測(cè)量實(shí)例（Ru單層涂層，入射波長(zhǎng)13.5 nm）：

反射實(shí)際測(cè)量實(shí)例（SiC單層涂層，入射角10度）：

用于30nm波長(zhǎng)的SiC / Mg多層鏡

· 這款產(chǎn)品是用于波長(zhǎng)約30nm的高反射多層膜。
(H. Takenaka et. Al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147, (2005) 1043-1045)
· 它還可用于EUV光條件下的各種應(yīng)用（空間觀察，使用高次諧波的各種實(shí)驗(yàn)）。

反射實(shí)際測(cè)量實(shí)例（入射角：垂直入射2度）：

φ1英寸凹面鏡：

用于6nm波長(zhǎng)的Cr / C＆CoCr / C多層鏡

· 這是一款在6nm波長(zhǎng)附近使用的多層膜鏡。
· 它被開(kāi)發(fā)為用于會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的多層鏡，多用于顯微光電子能譜。

(H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p. 255, vol. 104, 2003)

反射實(shí)際測(cè)量實(shí)例（入射角：垂直入射2度）：

其他實(shí)例

若您需要制作以下其他類(lèi)型的各種多層鏡和全反射鏡，也請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。

多層薄膜范例	Co/C, CoCr/C, Cr/C, Fe/TiC, Fe/TiN, Mo/barrier/Si,Mo silicide/Si, Mo/B⁴C, Mo/BN, Mo/C, Ni/C, Ni/C/Ti, Ni/Ti, Pt/B⁴C, Pt/C, Ru/B⁴C, Ru/C, Ru/Si, Sc/Cr, W/BN, W/B⁴C, W/Si, W silicide/Si, W/SiC等.
單層鏡范例	Ag, Au, Cr, Mo, Ni, Pt, Ru, SiC, Y²O³,等