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北京玉研精密儀器有限公司
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更新時間：2022-08-24 08:47:20瀏覽次數(shù)：157次
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基板尺寸：500×100mm2
W / C多層膜涂層
用于K-B鏡像系統(tǒng)的多層反射鏡
反射率的評價例（波長：0.154nm，藍(lán)色：測定值，粉紅色：計算值，周期長度2.95nm）
· 基板尺寸：140×10mm2
· Pt單層膜涂層
· 基板尺寸：110×80mm2
三色全反射鏡：
多層偏振器（Multilayer polarizer）
基板尺寸：20×20mm2
反射率實測值（入射角45°）
反射率的評價例（波長0.154nm，藍(lán)色：測定值，紅色：計算值，循環(huán)長度0.93nm）
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