由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統(tǒng)光學分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達到120 nm。

　　l高測量精度

　　同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上，Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動步進裝置，*小步進精度達到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

　　l高速掃描

　　傳統(tǒng)共聚焦采用點掃描成像，速度較慢;而Smartproof 5采用轉盤掃描，成像速度大大提高，*快的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率)，可以說瞬間即可得到測量結果，大大提高工作效率。

　　l真實色彩還原

　　還可使用三色LED光源，能夠展現被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。

　　技術參數：

　　1. 波長：405nm

　　2. 分辨率：120nm

　　3. Z軸*小步進精度：1nm

　　4. 成像速度：常規(guī)共聚焦的2-3倍

　　5. 物鏡：2.5x-100x

　　6. 高度掃描范圍：高達5mm

　　7. 載物臺：150mm×150mm超大行程

　　8. 控制系統(tǒng)：Smartproof 5應用軟件

　　9. 圖像處理和數據測量：

　　2D：距離，高度，角度，構造元素，基于ISO 4287的輪廓粗糙度

　　3D：水平距離，3D距離，高度，角度，構造點，面積，體積，基于ISO 25178的面粗糙度

　　其他：水平調整，形狀去除，濾波，去噪，報告

　　應用

　　1. 汽車制造：研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量

　　2. 航空航天工業(yè)：評價橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析

　　3. 科研：植入器官的表面測量

　　4. 微光學/機械制造：敏感精密光學部件的表面測量、精密機械部件的精密幾何測量

　　5. 電子：導線的幾何量測量(寬度，厚度等)、焊接結點的質量過程控制

　　6. 造紙：紙張以及印刷品的表面測量