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帶有預(yù)進(jìn)氣冷卻裝置的真空泵

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更新時(shí)間:2024-05-28 10:17:30瀏覽次數(shù):46次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

概述真空專家:帶有預(yù)進(jìn)氣冷卻裝置的AERZEN鼓風(fēng)機(jī)為了實(shí)現(xiàn)預(yù)進(jìn)氣冷卻,殼體在進(jìn)氣側(cè)增加了一個(gè)插口(原有兩個(gè),現(xiàn)為三個(gè))

詳細(xì)介紹


概述

真空專家: 帶有預(yù)進(jìn)氣冷卻裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)

為了實(shí)現(xiàn)預(yù)進(jìn)氣冷卻,殼體在進(jìn)氣側(cè)增加了一個(gè)插口(原有兩個(gè),現(xiàn)為三個(gè))。 滑油供應(yīng)由濺油潤(rùn)滑實(shí)現(xiàn)。 輸送室由密封裝置真空密封。 驅(qū)動(dòng)軸由帶有油欄的兩個(gè)徑向密封環(huán)密封。 流動(dòng)方向?yàn)榭v向,自上而下。 驅(qū)動(dòng)可以通過(guò)直接耦合也可以通過(guò)窄 V 型皮帶來(lái)實(shí)現(xiàn)(在限制壓力差之下)。


These blowers are useful in improving production processes in a wide variety of industries, including:

Chemical Process Technology

Evacuation of Hydrogen

Thin Film Foil and Glass Coating

Helium Leak Indication Units

Laser Technology

Manufacturing of Flat Screens Manufacturing of Melting Furnaces/ Metallurgy

Micro-Electronics Manufacturing

Semiconductor Instrument Manufacturing

Solar Technology


應(yīng)用 AERZEN MHV 系列鼓風(fēng)機(jī)的特殊優(yōu)勢(shì):

有 11 種結(jié)構(gòu)尺寸可選

在適用范圍內(nèi),粗略真空可作為多級(jí)泵座的中間級(jí),或者作為相對(duì)于大氣壓力的負(fù)壓級(jí)亦適用

壓力差可達(dá) 800 mbar

適用于較高的壓縮比和 p1/p2 = 5 以內(nèi)的粗略真空范圍

適于持續(xù)運(yùn)行且不會(huì)造成過(guò)熱問題

明顯降低壓縮排氣溫度

無(wú)需其他必要的閥門、控制器等

信息與文檔


技術(shù)參數(shù)

結(jié)構(gòu)形式:正排量風(fēng)機(jī)

體積流量:250 止于  61.000 m3/h

介質(zhì):空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送:無(wú)油

FINAL VACUUM:表壓(單位:10mbar)

PRESSURE DIFFERENCE:表壓(單位:10 - 300mbar)


應(yīng)用

適用于應(yīng)用的天才。

帶有密閉式驅(qū)動(dòng)裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過(guò)專門設(shè)計(jì),可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī)始終結(jié)合前級(jí)泵使用*。

此前級(jí)泵在大氣壓力條件下開始運(yùn)行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機(jī)鼓風(fēng)機(jī),然后泵送流程啟動(dòng)。 根據(jù)應(yīng)用的不同,可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機(jī)作為前級(jí)泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數(shù)集時(shí),前級(jí)泵也可以在大氣壓力條件下運(yùn)行。


應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)

微電子工業(yè)

平面屏幕制造

激光技術(shù)

太陽(yáng)能技術(shù)

氦檢漏裝置

化學(xué)工藝技術(shù)

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

*使用帶有密閉式驅(qū)動(dòng)裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機(jī)時(shí),必須配備額外的前級(jí)泵(多級(jí)系統(tǒng))。

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