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SJ6000激光干涉儀光學(xué)測(cè)量?jī)x器中圖儀器（chotest）

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產(chǎn)品型號(hào)SJ6000

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  激光干涉儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SJ6000激光干涉儀光學(xué)測(cè)量?jī)x器具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量

詳細(xì)介紹

SJ6000激光干涉儀光學(xué)測(cè)量?jī)x器具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

產(chǎn)品功能

1.SJ6000激光干涉儀光學(xué)測(cè)量?jī)x器可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
2.可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
3.可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
5.具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
6.支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)： SJ6800
產(chǎn)品名稱(chēng)：激光干涉儀
穩(wěn)頻方式：雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度： 0.04ppm
測(cè)量距離：≤（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）
測(cè)量分辨力：1nm
測(cè)量至大速度：4m/s
線性測(cè)量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
主要特點(diǎn)：測(cè)量、恒測(cè)力、無(wú)阿貝誤差

SJ6000激光干涉儀光學(xué)測(cè)量?jī)x器在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

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