FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)

滑軌管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現(xiàn)快速冷卻的目的。同時也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動到樣品處，達(dá)到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛，無污染，抗急冷急熱性能好。設(shè)備外形精巧美觀，周邊拓展性好，適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點

u 工作溫度RT～1000℃

u 程序控溫儀控制精準(zhǔn)、可編輯、儲存并調(diào)用多段程序

u 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱

u 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)

u 不銹鋼雙層密封法蘭，進(jìn)、出氣美標(biāo)針閥

u 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長石英管的使用壽命

u 超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值自動斷電

u 安全保護(hù)當(dāng)爐體漏電時自動斷電

額外選配：

u爐內(nèi)測量系統(tǒng)：（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）

u真空系統(tǒng)：（旋片式機(jī)械泵、擴(kuò)散泵機(jī)組、分子泵機(jī)組）

u氣氛系統(tǒng)：（浮子流量計、質(zhì)量流量計）

u監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠(yuǎn)程監(jiān)控）

注：選件需配置拓展柜體

技術(shù)參數(shù)：

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