團(tuán)隊介紹

ASML和NIKON光刻機的翻新改造、安裝調(diào)試及維護(hù)的核心技術(shù)能力。中國完成過ArF, KrF, I Line, G Line全部工程案例的團(tuán)隊。

針對12英寸及以下的不同尺寸（包括硅、碳化硅、氮化鎵、藍(lán)寶石等）、不同掩模版尺寸的要求，可實現(xiàn)自主設(shè)計、加工制造、集成調(diào)整的改造能力。

能夠進(jìn)行包括光學(xué)系統(tǒng)在內(nèi)的全面翻新、調(diào)試、測試，具備完整的運行保障能力，和備品備件的供應(yīng)。

針對不同產(chǎn)品（如MEMS、MICROLED、DMOS、CMOS等），具備的工藝人才和技術(shù)基礎(chǔ)，能夠針對不同的產(chǎn)品特性進(jìn)行設(shè)備選型、技術(shù)匹配及工藝試驗。