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當(dāng)前位置：青島佳鼎分析儀器有限公司>>清洗設(shè)備>> 全自動(dòng)晶圓清洗機(jī) AWS150
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更新時(shí)間：2023-02-25 13:26:23瀏覽次數(shù)：85次
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SCREEN單片式半導(dǎo)體清洗設(shè)備SU 3100
機(jī)臺(tái)針對(duì) 4 寸晶圓后端制程設(shè)計(jì)，用于單片清洗。
機(jī)臺(tái)為半自動(dòng)機(jī)臺(tái)，人工將晶圓放置于 Chuck 上后，機(jī)臺(tái)自動(dòng)完成工藝過(guò)程，再由人工收回晶圓。
晶圓通過(guò)真空吸附在 Chuck 上，電機(jī)帶動(dòng)晶圓做離心式旋轉(zhuǎn)，同時(shí)配合藥液完成清洗工藝。
空載轉(zhuǎn)速： 2000 rpm；
最小調(diào)整量：3rpm；
轉(zhuǎn)速精度： ±2rpm（50-3000rpm）
顆粒：直徑＞0.5um，數(shù)量＜35ea；
正面無(wú)沾污、印跡、劃傷等外觀異常
清洗時(shí)間：60s（根據(jù)清洗循環(huán)次數(shù)和效果決定）
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