佳能半導(dǎo)體光刻設(shè)備-步進式光刻機FPA-3030EX6，專用于物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備的KrF光刻機，分辨率達到150nm，可用電腦進行遠程操控。

特點與優(yōu)勢：

FPA-3030EX6步進器兼容多種特殊基板&小尺寸基板

FPA-3030EX6 配備與經(jīng)過驗證的 FPA-3030i5+ i-line 步進機相同的晶圓進給系統(tǒng)，支持處理用于制造物聯(lián)網(wǎng)和功率設(shè)備的各種材料、尺寸和厚度的基板。

FPA-3030EX6 在 KrF 準分子激光步進器中提供的性能

繼承了前代型號 FPA-3000EX6 步進機的性能，在同級別的 KrF 準分子激光步進機中實現(xiàn)了別的分辨率（150 nm）、重疊精度（25 nm）和生產(chǎn)率（吞吐量*121 wph）。

200 毫米（8 英寸）晶圓，60 次

FPA-3030EX6 步進器與 FPA-3000EX6 標線和配方兼容

與 FPA-3000EX6 標線和配方的兼容性允許有效使用現(xiàn)有設(shè)施和資產(chǎn)。

規(guī)格參數(shù)