RH 分辨率

1/264 % (RH probe)

溫度分辨率

1/264 °C (RH probe)

RH 精確度

RH probe sensor dependent (±1%, ±1.5%)

露點

Using RH probe for dew points above 80   °C is not recommended

飽和器最max溫度

90°C

熱保護

飽和器加熱器的熱切斷。溫度控制器中也設置溫度限制。

流量

由MFC的范圍決定，標準單位的可用范圍：50,   100, 200,500 cc/min

氣體類型

惰性氣體，通常為空氣或者N2

進氣口

1/8" (Swagelok® type bulkhead)

進氣口壓力

Maximum: 20 bar (300 psi)

Minimum: 0.7 bar (10 psi)

出氣口

0.25" (6.35 mm) OD tubing –(the compression fitting can beeasily replaced to accommodate other sizes).

傳輸管線尺寸

Heated length about – typically 1 m   (40")

Inner tube: 0.25" OD; 3/16" or 1/8" ID(6mm   OD, 4 mm ID, optional) Thickness w/ insulation: about 19-20   mm (0.8")

Other lengths and sizes available as  options

傳輸管線溫度:

Maximum (Continuous) 100 °C

Minimum: Ambient

尺寸

(22.3 cm x 29.2 cm x 40.6 cm)

(8.75" x 11.5" x 16")

儀器重量

13 kg (28 lb)

電源要求

100-120 VAC, 300VA, 60 Hz nominal

or: 220-240 VAC, 300VA, 50 Hz nominal