化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
某鋰硫電池制造商采用伯東KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助濺射沉積制備鋰硫電池正極片.
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
射頻離子源型號(hào) | RFICP380 |
Discharge 陽(yáng)極 | 射頻 RFICP |
離子束流 | >1500 mA |
離子動(dòng)能 | 100-1200 V |
柵極直徑 | 30 cm Φ |
離子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 15-50 sccm |
通氣 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型壓力 | < 0.5m Torr |
長(zhǎng)度 | 39 cm |
直徑 | 59 cm |
中和器 | LFN 2000 |
工藝流程:
該正極片的制備在離子束濺射室內(nèi)進(jìn)行, 將鋁箔作為基片, 將定量的塊體硫和塊體碳作為靶材.
在開(kāi)始工藝前, 需要將離子束濺射室抽真空后, 然后利用KRI 射頻離子源 RFICP380 將通入的氬氣離化為氬離子, 氬離子束以不同的功率交替轟擊塊體硫和塊體碳, 將硫原子和碳原子分別濺射出來(lái), 沉積到鋁箔表面, 即獲得帶有硫碳復(fù)合材料的鋰硫電池正極片.
KRI 射頻離子源 RFICP380 特性:
1. 大面積射頻離子源
2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求
3. 采用射頻技術(shù)產(chǎn)生離子, 無(wú)需電離燈絲, 工藝時(shí)間更長(zhǎng), 更適合時(shí)間長(zhǎng)的工藝要求
4. 離子束流: >1500 mA
5. 離子動(dòng)能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自動(dòng)控制器, 一鍵自動(dòng)匹配
8. RF Generator 可根據(jù)工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW
9. 離子源采用模塊化設(shè)計(jì), 方便清潔/ 保養(yǎng)/ 維修/ 安裝
10. 柵極材質(zhì)鉬和石墨, 堅(jiān)固耐用
11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
為了給離子束濺射室提供 10-4 Pa真空度, 該制造商采用伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 Hipace 700抽真空. 其技術(shù)參數(shù)如下:
2707-Operating voltage: V DC | 48 (± 5 %) V DC |
Ar 的壓縮比 | > 1 · 1011 |
Ar 的抽速 | 665 l/s |
Ar 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | 3.5 hPa l/s | 2.62 Torr l/s | 3.5 mbar l/s |
H2 的壓縮比 | 4 · 105 |
H2 的抽速 | 555 l/s |
H2 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | > 14 hPa l/s | > 10.5 Torr l/s | > 14 mbar l/s |
He 的壓縮比 | 3 · 107 |
He 的抽速 | 655 l/s |
He 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | 10 hPa l/s | 7.5 Torr l/s | 10 mbar l/s |
I/O 接口 | RS-485, 遠(yuǎn)程, Profibus |
N2 的壓縮比 | > 1 · 1011 |
N2 的抽速 | 685 l/s |
N2 的預(yù)真空 | 11 百帕 |
N2 的最終轉(zhuǎn)速時(shí)的氣體流量 | 6.5 hPa l/s | 4.88 Torr l/s | 6.5 mbar l/s |
不帶氣鎮(zhèn)的最終壓力 | 1 · 10-7 百帕 |
允許冷卻水的溫度 | 15 – 35 °C 攝氏度 |
冷卻水消耗最小值 | 100 l/h |
冷卻水耗量 | 100 l/h |
冷卻類型, 可選項(xiàng) | 空氣 |
冷卻類型, 標(biāo)準(zhǔn) | 水 |
聲壓水平 | ≤50 dB(A) 分貝 (A) |
安裝方向 | 任何 |
排氣連接 | G 1/8" |
接口, 擴(kuò)展 | Profibus |
方位 | 混合動(dòng)力 |
允許磁場(chǎng) | 6 mT |
根據(jù) PNEUROP 的最終壓力 | < 1 · 10-7 百帕 |
電子驅(qū)動(dòng)單元 | 帶有 TC 400 |
電流值 | 8,75 A |
耗電量 max. | 420 瓦 |
轉(zhuǎn)速 ?± 2 % | 49,200 rpm | 49,200 min-1 |
轉(zhuǎn)速可變化 | 60 – 100 |
運(yùn)行時(shí)間 | 2 分 |
連接法蘭（入口） | DN 160 ISO-F |
連接法蘭（出口） | DN 25 ISO-KF/G ?" |
重量 | 12.1 千克 |
防護(hù)等級(jí) | IP54 |
運(yùn)行結(jié)果:
能夠精確控制濺射量, 獲得混合均勻的硫碳復(fù)合材料.
伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門(mén), 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商.
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上海伯東: 羅先生
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