三軸測(cè)量顯微鏡 非接觸式深度測(cè)量工具顯微鏡
工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸坐標(biāo)測(cè)量顯微鏡，X、Y工作臺(tái)行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍數(shù)由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測(cè)量時(shí)的精度，Z軸對(duì)焦采用一光學(xué)“裂像指示器"，結(jié)合精密的Z軸“Cross Roller Bearing"導(dǎo)軌，可測(cè)范圍25 mm，精度高達(dá)1μm，配合特殊附件，測(cè)量分解度更可達(dá)0.5μm或0.1μm.

三軸測(cè)量顯微鏡技術(shù)規(guī)格

型號(hào)：DH II

工作臺(tái)行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm

Z軸測(cè)量范圍：25mm/25mm/25mm

三軸分解度：0.001mm

Z軸讀數(shù)裝置：ID-F內(nèi)置數(shù)顯表/外置數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

反射照明系統(tǒng)： 內(nèi)置8V-15W鎢絲燈/外置冷光源

標(biāo)準(zhǔn)目鏡：10X

標(biāo)準(zhǔn)物鏡：10X

讀數(shù)系統(tǒng)

DRO200S簡(jiǎn)易坐標(biāo)讀數(shù)器/QC200多功能數(shù)據(jù)處理器/QC5000測(cè)量軟件計(jì)算機(jī)系統(tǒng)