MF3000M氣體質(zhì)量流量計 微型流量傳感器
產(chǎn)品簡介:MF3000系列氣體質(zhì)量流量計采用旁路設(shè)計并使用本公司的MEMS流量傳感器芯片,集成了時域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比,這種時域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體,可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化,并結(jié)合防水、防油納米涂層,產(chǎn)品性能和得以大幅度提升。時域流量傳感技術(shù)還提供了線性度,并使用度效應(yīng)大幅降低。
MF3000系列氣體質(zhì)量流量計能直接測量氣體質(zhì)量流量,適用于各類清潔、干燥氣體。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計測量范圍覆蓋(0-2)SLPM-(0-1500)SLPM,該流量計工作壓力提高到0.8MPa,MF3000系列氣體質(zhì)量流量計提供多種信號輸出,通過RS485或I2C數(shù)字通訊接口可實現(xiàn)遠程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置,并可選擇NPN或PNP開關(guān)信號輸出。MF3000系列氣體質(zhì)量流量計同時具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能,允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或者查詢流量計的參數(shù)。本產(chǎn)品可用于工業(yè)應(yīng)用中的焊接機器、激光設(shè)備、氣體混合控制等。
產(chǎn)品特點:
質(zhì)量流量,時域傳感技術(shù)
全量程(0-2)SLPM-(0-1500)SLPM
全量程優(yōu)良的重復(fù)性
可測量多種氣體不需要修正
多種輸出信號可選
支持多種連接方式,易于安裝與使用
工作原理
MF3000系列氣體質(zhì)量流量計是基于銘鴻儀表公司自主研制MEMS流量傳感芯片,其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。
該流量的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當(dāng)沒有氣體流過時,MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。MEMS芯片上溫度傳感器將測量到具體的溫度變化并轉(zhuǎn)換為電信號,經(jīng)放大、調(diào)理和線性化處理后,通過LED顯示或模擬、數(shù)字信號輸出。由于不同種類的氣體對微熱源周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的溫度變化不同,所以能測量氣體的質(zhì)量流量。
技術(shù)參數(shù):
流量范圍:2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM
量程比:50:1
精度:±(2.5+0.5FS)%
重復(fù)性:1.0%
零點穩(wěn)定度:±30MV
輸出漂移:±0.12%/℃
響應(yīng)時間10MS
工作電源:8-24VDC,50MA
信號輸出1:RS485或I2C
信號輸出2/3:模擬電流4-20mA/模擬電壓:1-5VDC/NPN/PNP
顯示方式:4位4段LED數(shù)碼管,2個指示燈
顯示單位:瞬時流量:SLPM;累積流量:SL或Nm3
顯示分辨率:瞬時流量:0.01SLPM,累積流量:0.1SL或0.01Nm3
工作壓力:0.8MPa
工作溫度:-10~+55℃
儲存溫度:-20~+65℃
工作濕度:<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
機械接口:BSRT1/4外螺紋 4、6、8MM快速接頭 或8mmL型接頭 BSPT1/2內(nèi)螺紋
按鍵:三個按鍵
校準(zhǔn)方式:空氣(20℃,101.32kPa)
電氣接品:6針插座,廣瀨:DF51K-6P-2DS
符合性:RoHS,REACH
備注:1.為了流量計的測量精度,使用前需要預(yù)熱一分鐘
2. 傳感器默認(rèn)為空氣校準(zhǔn),測量 其它氣體時,精度會有所下隆
3. 默認(rèn)響應(yīng)時間這10MS可通過修改濾波調(diào)慢響應(yīng)時間。
4. 以上參數(shù)在為20℃101.325kPa下測得。
輸出引線定義:
1、紅色:信號輸出3:NPN/PNP
2、灰色:信號輸出2:模擬電流4-20mA/模擬電壓1-5VDC/PNP/NPN
3、藍色:GND 電源/信號地(-)
4、棕色:VCC電源正8-24VDC(+)
5、黑色:RS485A(+)I2C時鐘線(SCL)
6、白色:RS485B(-)I2C數(shù)據(jù)線(SDA)
流量計的電氣接口為DF51K-6P-2DS(廣瀨),出廠時帶一型號為DF51K6-100的配線,長度 為100CM,一端為插頭DF51K-6S-2C(與DF51K-6P-2DS配套連接)另一端散口。
MF3000M氣體質(zhì)量流量計 微型流量傳感器



