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TPY-2型自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀
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- 生產(chǎn)地址：
- 瀏覽次數(shù)：
- 杭州庫(kù)弘貿(mào)易有限公司
- 2022-10-21 16:32:04
- 杭州市
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【簡(jiǎn)單介紹】
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
【詳細(xì)說(shuō)明】
自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀，橢圓偏振測(cè)厚儀
自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀特點(diǎn)：
儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo)：
測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10
測(cè)量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器步進(jìn)角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180°
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005
儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）
光學(xué)中心高度：80mm
成套性：
主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）
主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
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