JKNL-B220滑軌式真空管式爐
【簡(jiǎn)單介紹】
【詳細(xì)說(shuō)明】
JKNL-B220滑軌式真空管式爐
設(shè)備介紹:
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是專(zhuān)為化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯片而設(shè)計(jì)的,該爐搭配質(zhì)量混氣系統(tǒng)、高(低)真空系統(tǒng)組成CVD系統(tǒng),可以通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速升降溫,配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到所需的真空度,同時(shí)通過(guò)四路高精度質(zhì)量混氣系統(tǒng)控制不同氣體。
爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),殼體間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能有效的降低爐殼表面溫度。爐底以直線(xiàn)軌道為平臺(tái),通過(guò)軌道實(shí)現(xiàn)爐體自由滑動(dòng);反應(yīng)區(qū)采用石英管結(jié)構(gòu),石英管直徑60mm,石英管通過(guò)CVD專(zhuān)用法蘭密封,內(nèi)置基片做為基底,前驅(qū)反應(yīng)氣體通過(guò)石英管內(nèi)發(fā)生CVD反應(yīng),生成石墨烯。
設(shè)備用途:
JKNL-B220滑軌式真空管式爐是生長(zhǎng)石墨烯研制的專(zhuān)用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn)。
JKNL-B220滑軌式真空管式爐
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基本參數(shù) | 產(chǎn)品型號(hào) | JKNL-B220 | 加熱區(qū)尺寸 | 400mm | |||||
極限溫度 | 1200℃ | 工作溫度 | ≤1100℃ | ||||||
表面溫度 | <>60℃ | 控溫精度 | ±1℃ | ||||||
功率 | 3KW | 工作電壓 | 單相220V | ||||||
開(kāi)門(mén)方式 | 上開(kāi)式 | ||||||||
外形尺寸 | 深 * 寬 * 高 (mm) 600 * 1300 * 1300 | ||||||||
設(shè)備重量 | 150Kg | ||||||||
殼體結(jié)構(gòu) | 雙層,殼體間風(fēng)扇制冷,可使?fàn)t體表面快速降溫。 | ||||||||
節(jié)能效果 | ★ 保溫時(shí)僅需40%功率 | ||||||||
數(shù)據(jù)顯示模式 | LED數(shù)顯儀表 | ★ 可選配豪華型智能觸摸屏儀表,實(shí)時(shí)曲線(xiàn)顯示,也可用U盤(pán)導(dǎo)出數(shù)據(jù),在電腦上安裝查看軟件 |
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控制模式 | 智能PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能 | ||||||||
溫度曲線(xiàn) | 30段可編程控制,可設(shè)置30段升降溫程序 | ||||||||
測(cè)溫元件 | K型熱電偶 | ||||||||
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲 環(huán)形加熱,溫場(chǎng)均勻,能耗低 升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min | | |||||||
爐膛保溫材料 | 1500型高純氧化鋁微晶體纖維,保溫性能好 | ||||||||
售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保(相關(guān)易耗件除外),終身保修 | ||||||||
包裝方式 | 三合板木質(zhì)包裝箱 | ||||||||
電 源 線(xiàn) | 標(biāo)配2米 若需更長(zhǎng),請(qǐng)購(gòu)買(mǎi)設(shè)備時(shí)提前說(shuō)明,需另購(gòu) | | |||||||
坩 堝 | 我司有各種規(guī)格的坩堝,需要可咨詢(xún)業(yè)務(wù)人員 | ||||||||
爐體尺寸 | 620mm(長(zhǎng))*420mm(寬)*520mm(高) | ||||||||
設(shè)備重量 | 180Kg | ||||||||
控制方式擴(kuò)展 | ★ 可選配485轉(zhuǎn)換接口,實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)相互連接。選配專(zhuān)用的電腦控制系統(tǒng)來(lái)完成與單臺(tái)或多達(dá)200臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。為客戶(hù)提供方便,本公司也可以代購(gòu)電腦。 | | |||||||
真空度 | A.若使用VP系列單級(jí)旋片機(jī)械泵+CF法蘭+針型閥,則真空度可達(dá)100Pa B.若使用2XZ系列雙級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵+KF法蘭+真空球閥,則真空度可達(dá)10Pa | ||||||||
隨機(jī)配件 | 防護(hù)手套1雙;坩堝鉗1把;剛玉舟1只;石英管;爐塞;爐勾;6號(hào)內(nèi)六角(法蘭專(zhuān)用);法蘭一套;配套氣管;高溫密封圈8個(gè);產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)1份;儀表說(shuō)明書(shū)1份;保修證書(shū)1份。 |
質(zhì)量流量控制器
工作電壓:220V
輸出功率:18W
質(zhì)量流量計(jì)量程:
控制器1:0-100 SCCM
控制器2:1-199 SCCM
控制器3:1-199 SCCM
控制器4:1-499 SCCM
可任意選擇量程(5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM)
工作溫度:5-45 oC
壓力:3* 10^6 Pa
準(zhǔn)確度:±1%FS
機(jī)械壓力表測(cè)量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥:304不銹鋼
混氣罐:Φ80*120MM
截止閥:Φ1/4 304不銹鋼
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