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mini型磁控濺射儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD，桌面式設(shè)計(jì)小巧卻功能齊全。觸摸屏控制功率，樣品臺(tái)0-8轉(zhuǎn)/分旋轉(zhuǎn)，自動(dòng)電動(dòng)樣品擋板等。

詳細(xì)介紹

mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD，該設(shè)備集磁控濺射與離子鍍膜技術(shù)為一體，對(duì)提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩(wěn)定性提供了解決方案。設(shè)備具有外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、自動(dòng)化程度高、操作簡(jiǎn)單靈活、性能穩(wěn)定、易維護(hù)等特點(diǎn)。設(shè)備可適用于不銹鋼、水鍍五金件/塑膠件、玻璃、陶瓷等材質(zhì)；可制備單質(zhì)金屬層如鈦、鉻、銀、銅或金屬化合物膜層如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等；可實(shí)現(xiàn)深黑色、爐內(nèi)金、玫瑰金、仿金、鋯金、寶石藍(lán)、亮銀色等顏色。

mini型磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；

控制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測(cè)量	皮拉尼真空計(jì)（已安裝測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口