? 光闌：f/50 ? 光譜解析能力：2.5 Mio.-10 Mio. (λ/?λFWHM) ? 波長范圍：157-1,100 nm (λmax range) ? 同步探測范圍：8-400 pm (λsimul) ? 波長范圍：190-550 nm (λtyp) ? 分辨率：85-240 fm (FWHM)

詳細(xì)介紹

ELIAS-II

發(fā)射譜線分析光譜儀系列

高分辨率的中階梯光柵光譜儀

的中階梯光柵光譜儀，在利特羅（Littrow）結(jié)構(gòu)中擁有的光譜解析能力-用于高分辨率的發(fā)射和吸收譜線的分析，尤其是準(zhǔn)分子激光光刻技術(shù)。

· Intensity dynamics of up to 4 orders

· 光譜解析能力 (2.5 million-10 million)

· 成像質(zhì)量

· 簡單沒有失誤的操作控制

· Motorized optomechanics

elias光學(xué)方案.jpg

ELIAS的超高分辨率得益于超大中階梯光柵的應(yīng)用及與之匹配的光路設(shè)計(jì)——中階梯光柵通過非常高的衍射級次可獲得的理論分辨率（femtometer level）；LTB的工程師通過兩個(gè)方面的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)超大中階梯光柵的理論分辨率：

· 逼近衍射極限的消色差成像光路

· 足夠高的線色散來確保以5~10個(gè)像素（CCD）來解析光譜譜線的半高寬；

ELIAS利用寬達(dá)360mm的超大中階梯光柵（Echelle grating）以利特羅（Littow）自準(zhǔn)直結(jié)構(gòu)構(gòu)成光路；ELIAS不同于靠干涉方式測量光譜的分析設(shè)備，ELIAS的中階梯光柵的高衍射級次及高級次等效于零級的衍射能量分布，可通過CCD實(shí)現(xiàn)寬光譜直拍，因此ELIAS非常適合脈沖激光光譜的分析應(yīng)用（通過外部TTL觸發(fā)可協(xié)同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科學(xué)級CCD作為探測器可獲得非常理想的信噪比（10⁴）

規(guī)格參數(shù)（Specifications）

可探測信號模式	CW/Pulsed
可探測光譜范圍	190~1100nm(157nm possible)
光譜解析能力(λ/?λ)	8,800,000
光譜分辨率	22fm@193nm
光譜精度	0.1pm
光譜窗口	>0.8nm
可探測脈沖能量	<10μJ
信號輸入模式	Fiber，SMA，Mirror，F(xiàn)ree Space
校準(zhǔn)方式	full auto/Manual；Hg（Neon）Lamp
觸發(fā)模式	TTL+5V
工作環(huán)境要求	溫度：10~30℃；濕度：<65%

ELIAS II : 相較ELIAS I 擁有更高的光譜解析能力，優(yōu)化了了冷卻方案的高速快門和高分辨率探測器系統(tǒng)，對于時(shí)間分辨光譜的測量，能顯著提高信噪比。

Model	ELIAS II
Pass	double
Wavelength [nm]	λsimul [pm]
157	-
193	16.4
248	22.5
266	29.7
532	59.4
766	92.5
1,064	200
Wavelength [nm]	FWHM [pm]
157	-
193	0.060
248	0.082
266	0.112
532	0.225
766	0.339
1,064	0.450