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YH大理石隔振光學(xué)平臺

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產(chǎn)品簡介

YH大理石隔振光學(xué)平臺產(chǎn)品特點(diǎn)：■臺面材料采用優(yōu)質(zhì)濟(jì)南青大理石

詳細(xì)介紹

YH大理石隔振光學(xué)平臺

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■臺面材料采用優(yōu)質(zhì)濟(jì)南青大理石，表面精度高，耐腐蝕性強(qiáng)

■內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備隔振性能，自動調(diào)節(jié)水平功能

■該產(chǎn)品適用于平面度要求高的實(shí)驗(yàn)

技術(shù)指標(biāo)：

■平面度：00級

■固有頻率：1.0Hz～1.5Hz

■減振效率：x方向＜5Hz時(shí)：86%～92% y方向＜5Hz時(shí)：84%～90%

x方向＜10Hz時(shí)：90%～96% y方向＜10Hz時(shí)：88%～93%

■振幅：< 1.0μm

■重復(fù)定位精度：±0.05mm

接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)

裝配地點(diǎn)：中山大學(xué)微電子學(xué)院

裝配地點(diǎn)：上海某光學(xué)科技公司

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