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百級潔凈烤箱，無塵烘箱

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產(chǎn)品簡介

一.百級潔凈烤箱，無塵烘箱概述百級潔凈烤箱也稱作無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)

詳細(xì)介紹

一.百級潔凈烤箱，無塵烘箱概述

百級潔凈烤箱也稱作無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二．百級潔凈烤箱，無塵烘箱特點(diǎn)

? 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；

? 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

? 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

? 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。

三．百級潔凈烤箱，無塵烘箱技術(shù)參數(shù)

1.主要技術(shù)指標(biāo)

? 無塵等級：Class 100;

? 溫度范圍：RT+10～200、300℃；

? 溫度均勻度：±2℃;

? 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；

? 溫控精度：±0.1℃;

? 進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;

? 排風(fēng)口： φ3"排風(fēng)管;

? 電源：380v , 50Hz；

?保護(hù)裝置：超溫保護(hù)，漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置（上限220℃）、電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流
保護(hù)、反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺異常蜂鳴器警示、門面安全開關(guān)。

? 網(wǎng)板：2-5層，不銹鋼加工圓孔托盤 , 載重量可承重50kg；

? 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

★選裝配件：多點(diǎn)巡檢儀、溫度記錄儀、千層架或推車、電磁鎖等。

四．常用規(guī)格

容積	型號	控溫范圍	控溫精度	電源電壓	內(nèi)膽尺寸（mm）
180L	JS-MOL18	RT-200/300℃	±1℃	380V/50Hz	W600D500H600
270L	JS-MOL27	RT-200/300℃	±1℃	380V/50Hz	W600D500H900
480L	JS-MOL48	RT-200/300℃	±1℃	380V/50Hz	W800D600H1000
640L	JS-MOL64	RT-200/300℃	±1℃	380V/50Hz	W800D800H1000
980L	JS-MOL98	RT-200/300℃	±1℃	380V/50Hz	W1400D700H1000
1800L	JS-MOL180	RT-200/300℃	±1℃	380V/50Hz	W1200D1000H1500
2700L	JS-MOL270	RT-200/300℃	±1℃	380V/50Hz	W1500D1200H1500