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無(wú)氧烘箱,光刻膠固化烘箱

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無(wú)氧烘箱,光刻膠固化烘箱應(yīng)用工藝無(wú)氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化,光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求,模擬線(xiàn)性升降溫環(huán)境,特別適合集成電路/半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線(xiàn)路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求,廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研等場(chǎng)所

詳細(xì)介紹

無(wú)氧烘箱,光刻膠固化烘箱應(yīng)用工藝

   無(wú)氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化,光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求,模擬線(xiàn)性升降溫環(huán)境,特別適合集成電路/半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線(xiàn)路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無(wú)氧化干燥烘烤工藝要求,廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研等場(chǎng)所。

無(wú)氧烘箱,光刻膠固化烘箱特點(diǎn)

精度高,可調(diào)整;

溫度穩(wěn)定性強(qiáng),可重復(fù)性高;

大容量,可批量生產(chǎn);

兼容性好,適用于2--12寸晶圓;

智能化,操作方便,一鍵運(yùn)行,無(wú)需人工值守;

快速降溫,具有輔助降溫裝置,提高生產(chǎn)效率;

無(wú)氧烘箱性能:

溫度范圍:RT+50~450℃;

內(nèi)箱尺寸:多尺寸定制;

材質(zhì):SUS304/316不銹鋼;

氧含量:≤ 20ppm;

數(shù)據(jù)輸出:溫度記錄/氧濃度記錄

保護(hù)功能:短路保護(hù)、漏電保護(hù)、超溫保護(hù)、電機(jī)過(guò)電流保護(hù)、電磁門(mén)禁保護(hù)

可選功能:

潔凈度:class100

真空度:10pa

自動(dòng)上下料:機(jī)械手

工業(yè)自動(dòng)化:MES/GEM

無(wú)氧烘箱使用環(huán)境

環(huán)境溫、濕度5℃~+35℃,相對(duì)濕度:≤85%;

周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)烈震動(dòng);    

無(wú)陽(yáng)光直接照射或其它熱源直接輻射,

周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)烈電磁場(chǎng)影響;

周?chē)鸁o(wú)高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì);



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