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真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱

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真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱簡介真空無氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設備

詳細介紹

真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱簡介
     真空無氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結構,全部采用無塵材料,箱內(nèi)可充氮、真空,使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設有超溫斷開加熱、氧含量檢測、輔助降溫裝置及報警電路,控制可靠,使用安全。
      真空無氧烘箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱技術參數(shù)
溫度范圍: RT ~300/450/550℃;
溫度波動度:≤±1

升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風冷+水冷降溫

氮氣控制: 可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測:201000ppm

工作尺寸:W350×H350×D350,

                W450×H450×D450,

                W600×H600×D600可定制
高溫無氧真空烤箱結構:
箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆;
內(nèi)室材料:采用316L級不銹鋼;
保溫材料:超細陶瓷纖維;
排 氣 口:KF16;
真空泵:渦旋干泵(進口);
高溫無氧真空烘箱溫控系統(tǒng):
操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
溫度測量:K型熱偶;

控制儀表:高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,

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