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光刻膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體高溫烤箱

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產(chǎn)品簡介

光刻膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體高溫烤箱應(yīng)用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán),經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復(fù)過濾,使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)

詳細介紹

光刻膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體高溫烤箱應(yīng)用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán),經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復(fù)過濾,使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。無塵烤箱工作室為不銹鋼結(jié)構(gòu)。適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè)。
光刻膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體高溫烤箱主要特點如下:
1.采用特制耐高溫長軸型馬達及強力多翼式風(fēng)葉,強力吸風(fēng)式機構(gòu)使得均勻分布溫度,安靜低噪音,節(jié)約能源;
2.箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節(jié)能等特點;
3.吸風(fēng)口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。
滿足標準:
1.11158-1989高溫試驗箱技術(shù)條件
2.2423.2-1989試驗B
光刻膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體高溫烤箱基本配置:
1. 溫度范圍:RT~450℃;
2. 內(nèi)箱尺寸:800×600×600mm(W×H×D)、700*500*500(可選);
3. 箱體數(shù):2個,上下布置,可定做;
4. 內(nèi)膽材質(zhì):SUS321鏡面不銹鋼,無縫焊接保護被加工件不受任何污染;
5. 升溫時間(空載):1.5h;
6. 降溫時間(空載):300℃-50℃降溫時間1.5-3.5小時(采用水冷翅片散熱器);
7. 加熱器:特制無塵加熱器;
8. 溫度和氧含量記錄:進口無紙記錄儀;
9.標準配件高效99.97%(0.3 μ )微??諝膺^濾器、微差壓力劑、計時器、可調(diào)隔層板、單段式溫度控制器
光刻膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體高溫烤箱氧含量:
1. 高溫狀態(tài)氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;
2. 低溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
3. 控溫穩(wěn)定度:±1℃;溫度均勻度:±10℃(400℃平臺);
光刻膠高溫固化烤箱,半導(dǎo)體高溫烤箱輸出控制:
1. 配置PLC,可實現(xiàn)多事件輸出控制氣氛、水等開關(guān)和報警;
2. 控制:上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護;
3. 控溫儀表:日本島電FP93溫控儀;
4. 控溫段數(shù):4×10段;控溫點數(shù):2點;
5. 超溫報警點數(shù):2點;檢測點數(shù):2點;
6. 報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;電機保護:電機過電流、水冷保護; 表
 面
溫升:<30℃;

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