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Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

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產(chǎn)品型號pfeiffer普發(fā)

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更新時間：2023-01-27 22:34:56瀏覽次數(shù)：289次

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產(chǎn)品簡介

類型：無菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號：APA 302描述：普發(fā)污染管理解決方案

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā) APA 302 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

普發(fā) APA 302 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg

產(chǎn)品規(guī)格：

應(yīng)用:
用于無菌室, 環(huán)境

產(chǎn)品介紹：

在潔凈室環(huán)境下，APA 302 是用于芯片制造的在線監(jiān)測工具。這臺革新性設(shè)備可以測量 FOUP 和周圍環(huán)境中的空氣分子污染物（簡稱 AMC）。該測量實時發(fā)生，在 ppbv 范圍內(nèi)具有很高的靈敏度。

有效的污染監(jiān)測
水分和空氣分子污染物 (AMC)，例如，氟化氫 (HF)，于等待時間內(nèi)，在 FOUP 槽對槽的空間里被釋放出來。而這些元素會在圖樣晶圓上生成晶體生長，從而導(dǎo)致產(chǎn)量的損失和性能的退化。普發(fā)真空的 APA 302 通過 FOUP 過濾器來對 AMC 進(jìn)行采樣。在 ppb 的范圍內(nèi)，通過離子遷移光譜儀、火焰離子化檢測、熒光紫外線或光腔衰蕩光譜技術(shù)，測量在 2 分鐘內(nèi)發(fā)生，具有高靈敏度。而當(dāng)負(fù)載端口上沒有 FOUP 時，APA 302 會監(jiān)控周圍的潔凈室環(huán)境。

FOUP 環(huán)境的可靠分析
為了保證性能，SEMI S2/S8 兼容的 APA 302 配備了自動校準(zhǔn)功能，它會在定期的時間間隔內(nèi)被激活。對于在 APA 中對 AMC 的監(jiān)控，可在有晶圓或無晶圓的 POD 中執(zhí)行。FOUP 可以手動傳送，也可通過 2 個負(fù)載端口上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來傳送。因此，可優(yōu)化各工藝步驟間的等待時間，污染的增加量能立刻被察覺到，且產(chǎn)量增加。

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