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德國普發(fā)真空pfeiffer vacuum氣體質(zhì)譜儀HiQuad™,QMG 7002

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產(chǎn)品簡介

用于過程監(jiān)測和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備德國普發(fā)真空pfeiffervacuum氣體質(zhì)譜儀HiQuad™,QMG700普發(fā)真空為真空處理過程中的氣體測定提供了各種不同的分析儀

詳細(xì)介紹

用于過程監(jiān)測和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備

德國普發(fā)真空pfeiffer vacuum氣體質(zhì)譜儀HiQuad™,QMG 700

普發(fā)真空為真空處理過程中的氣體測定提供了各種不同的分析儀。從質(zhì)譜儀到復(fù)雜的分析系統(tǒng),在我們這里您將會(huì)找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質(zhì)譜儀 PrismaPlus/PrismaPro 是氣體分析Z基礎(chǔ)的設(shè)備。PrismaPlus/Pro 是一個(gè)普遍適用的質(zhì)譜儀,其磁場軸技術(shù)保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測量速度快的特點(diǎn)。并且 PrismaPlus/Pro 不僅僅顯示各自的分壓,同樣也可以檢測總壓力。它的界面接口使這款質(zhì)譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設(shè)計(jì),模塊化結(jié)構(gòu)和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測、半導(dǎo)體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設(shè)備。另外,在研發(fā)領(lǐng)域也有無數(shù)的應(yīng)用。普發(fā)真空為其客戶在所有這些領(lǐng)域中提供量身定制的解決方案。當(dāng)然,普發(fā)真空還提供所需的質(zhì)譜儀配件,例如各種離子源陰極。

什么是質(zhì)譜儀

質(zhì)譜測量是一種可以用來測量原子和分子質(zhì)量的方法。通過這種方式測量化學(xué)混合物成分的分壓來分析化合物。待分析的物質(zhì)首先被轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的聚合狀態(tài)并且發(fā)生電離。電場使離子加速,使得它們在其各自的質(zhì)荷比基礎(chǔ)上被分類和分離。然后測定氣體各種成分的分壓。每個(gè)質(zhì)譜儀包括一個(gè)離子源、一個(gè)質(zhì)量過濾器和一個(gè)檢測器。根據(jù)所采用的質(zhì)量過濾器來區(qū)分不同類型的質(zhì)譜儀 。由于其廣泛的應(yīng)用選項(xiàng),四極桿質(zhì)譜儀具有可靠的測量表現(xiàn)。這些分析設(shè)備也經(jīng)常用于真空技術(shù)。

質(zhì)譜儀及其應(yīng)用

四極桿質(zhì)譜儀具有平行排列的四根電極桿,構(gòu)成了四極場。它們的交點(diǎn)與平面垂直于圓柱體軸線,形成一個(gè)場(因此命名為四極)。靜態(tài)電場使離子加速以后,離子飛過四極場。桿之間的四極場每次只會(huì)允許給定質(zhì)量的一個(gè)粒子通過,。四極桿質(zhì)譜儀提供高分辨率版本以簡易版兩種型號(hào)供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬,這類質(zhì)譜儀可應(yīng)用于眾多領(lǐng)域,包括從藥理學(xué)到環(huán)境分析領(lǐng)域。

HiQuad™,QMG 700,具有 QMA 430,8 mm 不銹鋼棒系統(tǒng)

具有用戶友好 Quadera®軟件的 HiQuad 質(zhì)譜儀系統(tǒng)。帶 HiQuad 控制器、高頻發(fā)電機(jī)和分析儀 QMA,8-mm 不銹鋼棒系統(tǒng)以及 90°-off-axis 次級(jí)電子倍增器的規(guī)格。

產(chǎn)品描述

  • 高靈敏度和大動(dòng)態(tài)范圍

  • 杰出長期穩(wěn)定性

  • 測量速度

產(chǎn)品

  • HiQuad™,1-300 amu

HiQuad™,1-300 amu

模塊化結(jié)構(gòu)的 HiQuad 質(zhì)譜儀可適合您的使用。以下離子源可供選擇:軸向離子源,格柵離子源,交叉臂離子源和氣密交叉臂離子源。長絲材料:鎢,釔銥,錸控制輸入/輸出模塊 IO 700,通過模擬式和數(shù)字式輸入端/輸出端的信號(hào)交換

產(chǎn)品描述

  • 測量速度

  • 杰出長期穩(wěn)定性

  • 內(nèi)置互聯(lián)網(wǎng)瀏覽器和用于與計(jì)算機(jī)程序通訊的 OPC 服務(wù)器

產(chǎn)品

  • HiQuad™ 具有 QMA 430,1-300 amu,具有交叉束離子源 (PT Q14 021 110)

HiQuad™ 具有 QMA 430,1-300 amu,具有交叉束離子源

概述
  • HiQuad 質(zhì)譜儀

  • 測量速度,動(dòng)態(tài)范圍大,靈敏度和杰出長期穩(wěn)定性

  • 偏置離子源形成的低背景信號(hào),場軸技術(shù)形成的低探測界限

  • Quadera®軟件用以簡單和明了的操作和顯示

  • 借助集成的矩陣計(jì)算確定氣體濃度

PT Q14 021 110

技術(shù)參數(shù)
MID 中的測量通道的數(shù)量128 件
供應(yīng): 電壓100 – 240 V AC
分壓比 帶 SEV< 1 ppb
分析儀QMA 430
分辨率,10% 峰值高度時(shí)可調(diào)節(jié)0.3 - 7 u
前置放大器EP 422
加熱溫度:分析儀400 攝氏度
對(duì) Ar 的靈敏度:法拉第2 · 10-4 A/hPa
峰值比的可再現(xiàn)性< 0.1 %
工作溫度:分析儀150 攝氏度
工作溫度:電氣設(shè)備5 – 40 攝氏度
探測器SEV 217/Faraday
接口以太網(wǎng)
Z大工作壓力:SEM1 · 10-5 百帕
Z大工作壓力:法拉第1 · 10-4 百帕
桿系統(tǒng):材料不銹鋼
桿系統(tǒng):直徑8 毫米
桿系統(tǒng):長度200 毫米
檢測限2 · 10-15 百帕
測量速度:MID0.125 ms - 60 s/amu
測量速度:掃描條形圖0.125 ms - 60 s/amu
測量速度:模擬掃描0.125 ms - 60 s/amu
溫度:儲(chǔ)存-20 – 60 攝氏度
離子源交叉臂,2 陰極
離子源供電IS 716
質(zhì)量范圍1 – 300 u
軟件Quadera®
輸入數(shù)字RUN-In, TTL, 測量循環(huán)啟動(dòng) Ext._Protection, 外部觸點(diǎn)
輸入模擬2 x ± 10 V
輸出:數(shù)字2 x TTL-Output SYNC-Out, TTL (Trigger)
輸出:模擬2 x ± 10 V, 12 位 靜電計(jì)輸出端 (EP)
連接法蘭(入口)DN 63 CF-F
陰極
高壓供電HV 701
高頻發(fā)電機(jī)QMH 400-5
尺寸

尺寸圖-TIM-RS

  • A

  • 軸向離子源 = 26 mm 格柵離子源 = 27 mm



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