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凈化減壓閥

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

采用禁油規(guī)格?不銹鋼閥體，半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣、N2的壓力控制。另外，由于緊湊?大流量，因此適合空氣（N2）吹氣。行業(yè)

詳細(xì)介紹

【禁油規(guī)格】
實(shí)施精密清洗（氣體接觸部分），在潔凈室內(nèi)進(jìn)行從組裝到包裝的生產(chǎn)。
接觸氣體部位不使用潤(rùn)滑脂。

【緊湊?大流量】
對(duì)邊50mm的緊湊尺寸，并實(shí)現(xiàn)了0.8?/min的大流量。
（1次壓力0.7MPa、設(shè)定壓力0.5MPa、壓力降0.1MPa時(shí)的流量）

【帶可逆流功能】
具有排放1次側(cè)壓力時(shí)，2次側(cè)壓力向1次側(cè)逆流的功能。
2次側(cè)不殘留壓力，重視安全性。（不施加背壓時(shí)）

型號(hào)	名稱(chēng)	配管口徑（Rc）	使用壓力（MPa）	設(shè)定壓力范圍(MPa)	備注
RC2000-※	凈化減壓閥	1/4, 3/8	1.0	標(biāo)準(zhǔn)：0.05～0.7, 低壓：0.02～0.2
RC2000-15	凈化減壓閥（接單生產(chǎn)品）	1/2	1.0	標(biāo)準(zhǔn)：0.05～0.7 低壓：0.02～0.2

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