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埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
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埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)OG-5000
品 牌
廠商性質(zhì)其他
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更新時(shí)間：2023-02-26 13:53:35瀏覽次數(shù)：105次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計(jì)的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長(zhǎng)和濕臺(tái)流程中。OG-5000系列設(shè)計(jì)緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡(jiǎn)便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測(cè)器、臭氧濃度監(jiān)測(cè)器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。
Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000
OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計(jì)的，可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長(zhǎng)和濕臺(tái)流程中。OG-5000系列設(shè)計(jì)緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡(jiǎn)便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測(cè)器、臭氧濃度監(jiān)測(cè)器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。
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