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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司

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金屬薄膜制備專用熱蒸鍍鍍膜系統(tǒng)

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更新時間：2022-10-15 09:18:37瀏覽次數(shù)：87次

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產(chǎn)品簡介

型號：MEB450S

詳細(xì)介紹

型號：MEB450S，產(chǎn)地：歐洲，應(yīng)用：沉積金屬薄膜

蒸鍍腔體：高600mm、寬450mm、深450mm

熱蒸鍍源：6個熱蒸鍍源

樣品臺：可加載4×60mm襯底

襯底旋轉(zhuǎn)：10 rpm

襯底加熱：熱阻絲加熱可達(dá)300℃

采用熱電偶控溫

厚度控制：采用石英晶振膜厚控制儀

襯底清洗及刻蝕：

配備直流離子槍

Ar、N2氣路用于反應(yīng)離子束刻蝕

刻蝕不均勻性±4% @ 60mm晶圓

離子槍到襯底距離為300mm

控制系統(tǒng)：全自動控制，半自動和手動模式可用

支持多級用戶權(quán)限設(shè)置和管理

支持設(shè)備遠(yuǎn)程操作、監(jiān)控、診斷和維護(hù)

系統(tǒng)自動報警及定位故障

若對我們的設(shè)備感興趣，歡迎聯(lián)系我們！

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