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上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司


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提供金屬膜/半導(dǎo)體膜/絕緣膜鍍膜服務(wù)

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品       牌

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所  在  地上海

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更新時(shí)間:2022-10-14 12:33:21瀏覽次數(shù):112次

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商鋪產(chǎn)品:87條

所在地區(qū):上海上海

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我們采用以下手段,可以制備各種膜!電子束蒸鍍(E-beamevaporation):-可以蒸鍍各種金屬、非金屬材料磁控濺射鍍膜(MagnetronSputtering):-制備各種金屬、非金屬薄膜

詳細(xì)介紹

我們采用以下手段,可以制備各種膜!

 

電子束蒸鍍(E-beam evaporation):

-可以蒸鍍各種金屬、非金屬材料

 

磁控濺射鍍膜(Magnetron Sputtering):

-制備各種金屬、非金屬薄膜;

-可連續(xù)沉積多層膜,包括介質(zhì)薄膜、金屬薄膜、光學(xué)薄膜

-俄歇測(cè)試發(fā)現(xiàn),界面層和薄膜內(nèi)部含氧量極低,不到普通的磁控濺射含氧量的1/4

-可以真空800℃退火等處理;

 

高密度等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD):

-制備高致密氧化硅,BOE腐蝕2.5nm/s;

-制備低應(yīng)力超厚氧化硅、氮化硅薄膜,最厚可達(dá)30um;

-制備均勻性良好的絕緣薄膜

 

金屬膜:Ni, Au, Cu, Ag, Pt, Co, Cr, Fe, Nb, W, Al, Ge, Ta, Ti, Pd, Mo等

氧化膜:SiO2, ZrO2, TiO2等

 

可接受特殊要求鍍膜服務(wù)!


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