二手刻蝕機現(xiàn)貨供應(yīng)MATRIX SYSTEM ONE 106，1995年設(shè)備，可對4-6英寸的晶圓進行蝕刻工藝加工。

制造商:MATRIX

型號:SYSTEM ONE 106

類別:ETCHERS / ASHERS

年份:1995

晶圓尺寸:4"-6"

設(shè)備詳細信息:

自動光刻膠剝離器，4“-6"

單晶片

單盒

微處理器控制的自動光刻膠剝離機

射頻功率

溫度

氣流

基板位置

交錯電極組件

蝶閥

相位幅度檢測器

閉環(huán)控制

整體晶圓冷卻站

卡盤溫度的閉環(huán)控制

（2） 質(zhì)量流量控制器（MFC）：1x5 SLPM和1x300 SCCM

晶圓銷提升組件（上下）

范圍：

鋼帶：150°C-250°C（±5°C）

溫度：100攝氏度-150攝氏度（±5攝氏度）

1995年份。