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更新時(shí)間：2021-12-07 08:32:26瀏覽次數(shù)：82次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品信息簡(jiǎn)介：RTP系統(tǒng)用于IC集成電路，MEMS器件、光電子器件、LED、太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，適用于晶圓的快速熱處理工藝

詳情介紹

產(chǎn)品信息

簡(jiǎn)介：
RTP系統(tǒng)用于IC集成電路，MEMS器件、光電子器件、LED、太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，適用于晶圓的快速熱處理工藝。

產(chǎn)品性能：

熱壁雙腔/鹵鎢燈加熱式/感應(yīng)加熱式

結(jié)構(gòu)方式：水平/垂直

溫度：200~1100℃

配套工藝：

快速退火、合金（RTA / RPP）

快速氧化、氮化（RTO / RTN）

快速氣相沉積（RTCVD）

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