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當(dāng)前位置：柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司>>YAMATO雅馬拓>>等離子裝置>> YAMATO雅馬拓等離子清洗機(jī) YSP63FA
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
更新時(shí)間：2020-12-22 08:59:11瀏覽次數(shù)：188次
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YAMATO雅馬拓等離子清洗機(jī) YSP63FA可進(jìn)行樣品傳輸系統(tǒng)定制
● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動(dòng)處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購(gòu)品）。
YAMATO雅馬拓等離子清洗機(jī) YSP63FA規(guī)格
規(guī)格
型號(hào) | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式選購(gòu)） |
高頻輸功率 | 600W |
反應(yīng)臺(tái)尺寸 | W385×D362mm |
內(nèi)腔尺寸 | W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸） |
反應(yīng)氣體 | 2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） |
反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min） |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè) |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
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