德國(guó)PI緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)
&&RS-40 V7緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)，適用于真空
精確定位
RS-40 V7緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)，適用于真空
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購(gòu)
適用于高達(dá)10-7 hPa的真空
無(wú)限旅行范圍
重復(fù)精度達(dá)87 µrad
直徑20毫米

德國(guó)PI緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)
&&RS-40 V7緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)，適用于真空
精確定位
RS-40 V7緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)，適用于真空
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購(gòu)
適用于高達(dá)10-7 hPa的真空
無(wú)限旅行范圍
重復(fù)精度達(dá)87 µrad
直徑20毫米
參考開關(guān)
標(biāo)準(zhǔn)級(jí)旋轉(zhuǎn)臺(tái)
蝸桿傳動(dòng)?？讖綖?0毫米直徑。參考開關(guān)。

高真空應(yīng)用的更高質(zhì)量
在這種情況下，將使用適合于高真空的特殊組件，例如電動(dòng)機(jī)，測(cè)量系統(tǒng)和限位開關(guān)。此外，表面由無(wú)涂層的鋁制成，驅(qū)動(dòng)螺釘和導(dǎo)軌由不銹鋼制成。這樣，達(dá)到了PI V7真空等級(jí)，這意味著高達(dá)10 -7  hPa。

應(yīng)用領(lǐng)域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。

減少放氣，特別是在真空環(huán)境下使用
顯著的是，為了潤(rùn)滑導(dǎo)向裝置和驅(qū)動(dòng)螺桿，使用了排氣量極低的材料。因此，烘烤溫度可達(dá)到80°C。

駕駛
帶減速機(jī)的步進(jìn)電機(jī)。
德國(guó)PI緊湊型旋轉(zhuǎn)臺(tái)北京漢達(dá)森專業(yè)代理

 

A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，帶空氣軸承，大孔徑
無(wú)摩擦，電動(dòng)
A-68x PIglide RLA旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，帶空氣軸承，大孔徑
產(chǎn)品描述技術(shù)指標(biāo)資料下載報(bào)價(jià)/訂購(gòu)
直徑365毫米的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，直徑260毫米的光圈
低調(diào)
偏心和平整度<300 nm
產(chǎn)品總覽
PIglide RLA系列的直接驅(qū)動(dòng)平面旋轉(zhuǎn)平臺(tái)設(shè)計(jì)為具有的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺(tái)具有出色的行程精度，平坦度和擺動(dòng)性能。

編碼器（可選）
值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。這意味著在接通過(guò)程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。

應(yīng)用領(lǐng)域
斷層掃描，束線系統(tǒng)，晶圓計(jì)量，晶圓檢查，測(cè)量技術(shù)，檢查系統(tǒng)，校準(zhǔn)，掃描。

由于無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)，不會(huì)形成任何顆粒，這使PIglide平臺(tái)成為潔凈室應(yīng)用的理想選擇。

三相轉(zhuǎn)矩電機(jī)
無(wú)刷
低齒槽轉(zhuǎn)矩
配件和選件
增量或編碼器
PIglide過(guò)濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運(yùn)動(dòng)控制器和伺服驅(qū)動(dòng)器
多軸/自定義設(shè)置
花崗巖制底板和減振系統(tǒng)