化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng)
詳細(xì)介紹
簡介
在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是難點，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura 在線式極度干燥氣體露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。
亮點
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設(shè)計緊湊小巧
顯示/報警單元可選
技術(shù)參數(shù)
傳感器 | |
傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
量程 | -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C) |
精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; |
分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; |
壓力 | 低10-9 torr; 24 MPa |
氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
電氣 | |
電源 | 通常 24 V DC, 低10 V ~ zui高28 V , 電流 25 mA |
輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) |
輸出出錯狀態(tài) | 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
機(jī)械性能 | |
傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光 |
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連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 |
安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙 |
尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm |
重量 | Premium 或 OEM 型: 450g |
包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 |
Pura 在線式極度干燥氣體露點變送器
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