API 5D/6D激光干涉儀技術(shù)資料

API擁有一系列高精尖產(chǎn)品，能夠?yàn)椴煌脩舻牟煌瑔栴}提供不同的個(gè)性化解決方案，包括硬件、軟件和培訓(xùn)服務(wù)等，為用戶解決實(shí)際生產(chǎn)中的難題一直是我們追求的目標(biāo)。XD激光干涉儀是激光測量技術(shù)的一個(gè)巨大飛躍，它在操作簡單性測量準(zhǔn)確性上有了很大提高?？捎糜?測量線性精度、直線度、滾動(dòng)角、偏擺角、俯仰角、重復(fù)性、速度、加速度、對角線、垂直度、平行度、平面度等。XD系統(tǒng)使用強(qiáng)大的軟件包，運(yùn)行于Windows平臺(tái)上，提供了完整的交互式測量程序。XD激光干涉儀體積小，測量機(jī)床時(shí)無需使用三腳架，使測量基準(zhǔn)于機(jī)床的加工基準(zhǔn)保持一致，簡化了測量程序。

適用于檢測數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等設(shè)備；一次安裝可同時(shí)測得6個(gè)參數(shù)；節(jié)省80%的工作時(shí)間，大幅度提升工作效率 。全套系統(tǒng)重15千克，可以裝進(jìn)一個(gè)小型的工具箱。

XDLaser激光干涉儀技術(shù)綜述：
?    1D激光主要可以測量定位誤差
?    3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）
?    5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

API 5D/6D激光干涉儀技術(shù)資料之儀器簡介：

5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到小，從而保證測量儀的*穩(wěn)定性。測量儀配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到小。

主要特點(diǎn)：

1. 同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。 
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間

技術(shù)參數(shù)：

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型： 
1. 線性：0.5ppm 
2. 測量范圍：40米（1D可選80米） 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 
4. 大范圍：800角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒 
6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 
7. 大范圍：500um 
8. 垂直度精度：1角秒 
9. 溫度：0.2攝氏度 
10.濕度：5% 
11.壓力：1mmHg