氣體質(zhì)量流量控制器，即Mass Flow Controller（縮寫為MFC），是一個可以手動設(shè)定或與電腦連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確的控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微變化，也不會影響其正常的工作。原則上不需要溫度和壓力補償。
特點：快速響應時間，準確率高，穩(wěn)定的流量控制，壓力范圍廣，尺寸小，連接方便，快拆快擰，交貨周期短，優(yōu)惠的價格性價比

氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。

• 主要技術(shù)指標

 

編號	項目	MF-200C	MF-200M
1	流量規(guī)格（N2）	10sccm～30slpm
2	準確度	±1％F.S(Full Scale)
3	重復精度	±0.25％F.S（Full Scale）
4	響應時間	≤2sec（特別要求時：≤1sec）
5	耐壓	≤90bar
6	工作環(huán)境溫度	0℃～50℃
7	輸入輸出信號	0～5V	0～5V or 4～20mA
8	供電	+15Vdc or +24Vdc   350mA
9	漏率	1×10atm.cc/sec
10	使用范圍	2～100％滿量程