光氧等離子一體機在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。

光氧等離子一體機體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產(chǎn)生的大量 OH、HO、O等活性自由基和氧化性*的 O，能與有害氣體分子發(fā)生化學反應，后生成無害產(chǎn)物。

物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。

生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之效果。河北安達光氧等離子一體機的品質機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，河北安達光氧等離子一體機的品質同時空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可產(chǎn)生大量的新生態(tài)氫、活性氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，轉化為 CO和 H O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。

光氧等離子一體機體技術目前采用的有四類技術，介質阻擋放電（雙介質、單介質）、*放電（金屬、纖維）、板式放電、微波放電，實際應用也有采用組合模式。