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空氣凈化工程專家分享潔凈廠房的設(shè)計(jì)主要特點(diǎn)
點(diǎn)擊次數(shù)：347 發(fā)布時(shí)間：2013-1-25
凈化工程/，空氣凈化工程，潔凈廠房/--空氣凈化工程專家分享潔凈廠房的設(shè)計(jì)主要特點(diǎn)。 在設(shè)計(jì)氣流組織時(shí)應(yīng)考慮這些原則:盡量減少渦流，避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);盡量防止灰塵的二次飛揚(yáng)以減少灰塵對(duì)工件的污染機(jī)會(huì);工作區(qū)的氣流要盡量均勻，且其風(fēng)速要滿足工藝和衛(wèi)生要求，當(dāng)氣流向回風(fēng)口流動(dòng)時(shí)要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據(jù)不同的潔凈度要求，選擇不同的送、回風(fēng)方式。無塵車間/凈化工程 萬級(jí)無塵車間潔凈室/ 百級(jí)無...潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、...可是國內(nèi)和國外許多國家的有關(guān)規(guī)范或標(biāo)準(zhǔn)均未規(guī)定正壓.
凈化系統(tǒng)末級(jí)過濾器一般采用過濾器或亞過濾器。按我國標(biāo)準(zhǔn)[1]規(guī)定過濾器效率分四檔:A類為≥99.9%，B類為≥99.9%，C類為≥99.999%，D類為（對(duì)≥0.1μ m粒子）≥99.999%（亦稱超過濾器）;亞過濾器[2]為（對(duì)≥0.5μm粒子）95~99.9%。效率越高，過濾器的價(jià)格也越貴。所以選擇過濾器時(shí)應(yīng)本著既要滿足送風(fēng)潔凈度要求，又要考慮經(jīng)濟(jì)合理。從潔凈度要求考慮，以低級(jí)別潔凈室選用低性能過濾器、別潔凈室選用高性能過濾器為原則。
潔凈室的動(dòng)線規(guī)劃
所謂[動(dòng)線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時(shí)，要檢討分析人（車）路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)之流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染（Cross Contamination）。
要點(diǎn)：
1． 作業(yè)者、材料、化學(xué)藥品等動(dòng)線勿集中。
2． 制造裝置之出入，需不對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。
3． 超潔凈室四周，風(fēng)淋室/宜設(shè)緩沖區(qū)（即較差潔凈區(qū)）。
/工業(yè)潔凈室（ICR）之潔凈度與適用和分類表
| 潔凈度 | 潔凈度（≥0.5μm，個(gè)/ft3） | |||||||||||
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| LSI制造工程 | ||||||||||||
| LSI組立檢查工程 | ||||||||||||
| （矽）單結(jié)晶 | ||||||||||||
| 照像光罩photo mask | | |||||||||||
| 光阻涂膜photoresist | | |||||||||||
| 一般液晶（tn,stn） | ||||||||||||
| 顯示用液晶（tft,mim） | ||||||||||||
| 投影用液晶（tft） | ||||||||||||
| 混合（hybrid）IC | ||||||||||||
| 印刷基板材料 | ||||||||||||
| 印刷配線板 | ||||||||||||
| 電晶體、二極體 | ||||||||||||
| 精密電子部品 | ||||||||||||
| 磁頭 | ||||||||||||
| 磁碟 | ||||||||||||
| 電腦、磁碟裝置組立 | ||||||||||||
| 錄影帶、光碟 | ||||||||||||
| 照像底片 | ||||||||||||
| 光織 | ||||||||||||
| 精密軸承 | | |||||||||||
| 光學(xué)鏡片 | ||||||||||||
| 半導(dǎo)體制造裝置 | ||||||||||||
| 潔凈管及閥類 | ||||||||||||
| LSI制造用化學(xué)藥品 | ||||||||||||
| 精密測(cè)定機(jī)制造 | ||||||||||||
| 清洗無壓衣 | ||||||||||||
| 印刷、制版 | ||||||||||||
/生物潔凈室（BCR）之潔凈度與適用和分類表
| 潔凈度 產(chǎn)業(yè)別 | 潔凈度（≥0.5μm，個(gè)/ft3） | |||||||||
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| （醫(yī)藥品） | ||||||||||
| 抗生物質(zhì) | ||||||||||
| 注射藥 | ||||||||||
| 血清 | ||||||||||
| 藥劑包裝過程 | ||||||||||
| 醫(yī)療用器具 | ||||||||||
| （病院） | ||||||||||
| 無菌手術(shù)室 | ||||||||||
| 手術(shù)室 | ||||||||||
| 無菌病室 | ||||||||||
| 調(diào)劑室 | ||||||||||
| （食品） | ||||||||||
| 牛乳·乳制品 | ||||||||||
| 食肉·食肉加工 | ||||||||||
| 煉乳制品 | ||||||||||
| 清酒·酒類 | ||||||||||
| 糕餅·豆腐 | ||||||||||
| 制果·面包 | ||||||||||
| （動(dòng)物實(shí)驗(yàn)） | ||||||||||
| 飼養(yǎng)區(qū) | ||||||||||
| 隔離區(qū) | ||||||||||
| 其他 | ||||||||||
| 磨茹·菌類培養(yǎng) | ||||||||||
| 觀葉植物培養(yǎng) | ||||||||||
| 化妝品 | ||||||||||
美國太空署（NASA）之無菌室規(guī)范重點(diǎn)（NHB-5340.2）
| 無菌室（BCR）潔凈等級(jí) | 微粒子 | 微生物 | ||
| 粒徑 | 累積粒子數(shù) 個(gè)/ft3（個(gè)/L） | 浮游量 個(gè)/ft3（個(gè)/L） | 沈降量 個(gè)/ft2（個(gè)/M2） | |
| 100 | ≥0.5 | ≤100（≤3.5） | ≤0.1（0.0035） | 1200（12900） |
| 10000 | ≥0.5 | ≤10000（≤350） | ≤0.5（0.0176） | 6000（64600） |
| ≥0.5 | ≤65（≤2.3） | |||
| 100000 | ≥0.5 | ≤100000（≤3500） | ≤2.5（0.0884） | 3000（323000） |
| ≥5.0 | ≤700（≤25） | |||
FS-209E潔凈度等級(jí)（1992年）
| 粒徑大小 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥5μm | ||||||
| 微粒子數(shù) | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | |
| S1制級(jí) | 英制級(jí) | ||||||||||
| M1 | 350 | 9.01 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | |||
| M1.5 | 1 | 1240 | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | |||
| M2 | 3500 | 35.0 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | |||
| M2.5 | 10 | 124000 | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | |||
| M3 | 35000 | 99.1 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | |||
| M3.5 | 100 | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | ||||
| M4 | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | |||||
| M4.5 | 1000 | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | ||||||
| M5 | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | |||||||
| M5.5 | 10000 | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | ||||||
| M6 | 1000000 | 28300 | 6180 | 170 | |||||||
| M6.5 | 100000 | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | ||||||
| M7 | 10000000 | 283000 | |||||||||
空氣凈化工程專家分享潔凈廠房的設(shè)計(jì)主要特點(diǎn)
1.結(jié)構(gòu)
為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，必要的謹(jǐn)慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。
2.設(shè)計(jì)方案
要確定設(shè)計(jì)方案，必須先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮。初效過濾器/發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。
3.材料
作為潔凈室頂棚，墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據(jù)房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定。
4.系統(tǒng)
室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數(shù)。
5.潔凈度與換氣次數(shù)
房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數(shù)，因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工藝要求，再?zèng)Q定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。
6.壓力和氣流
為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進(jìn)入室內(nèi)，要達(dá)到這個(gè)目的，房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力，必須補(bǔ)充適當(dāng)?shù)男迈r空氣。
7.輔助設(shè)備
必要時(shí)還得安置一些輔助設(shè)備：如新風(fēng)口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等。這些設(shè)備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能。
8.人和物的控制
人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進(jìn)入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過人凈系統(tǒng)，更換無塵衣，并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。
9.給排水和送風(fēng)裝置及電源
根據(jù)所要運(yùn)行的車間，提供必須的給排水裝置，送風(fēng)裝置和電源，這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì)，同時(shí)不得有勃于空氣凈化系統(tǒng)。
10.潔凈室的規(guī)劃 一般性的規(guī)劃重點(diǎn)
潔凈室的整廠規(guī)劃（Turn Key Projects）（如表3-1），因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項(xiàng)專業(yè)人才共同規(guī)劃，盡管不少潔凈室規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認(rèn)下列事項(xiàng)：
1. 潔凈度等級(jí)。
2. 室內(nèi)氣壓的平衡。
3. 溫濕度要求。
4. 機(jī)器設(shè)備。
5. 生產(chǎn)流程。
6. 局部排氣。
7. 擴(kuò)建彈性。
8. 足夠維護(hù)保養(yǎng)空間。
9. 空調(diào)送風(fēng)方式。
10. 員工休息區(qū)。
11. 設(shè)施與動(dòng)力的配置。
12. 室內(nèi)凈高與樓板載重。
13. 設(shè)備空間與管道間。
14. 門窗宜少，氣密性要佳。
15. 靜電、振動(dòng)及噪音。
16. 生產(chǎn)線與活動(dòng)線少交叉。
17. 公害、污染與防災(zāi)。
18. 安裝及運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
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