阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵五大防腐特性自動(dòng)平衡系統(tǒng)嵌入式75加熱系統(tǒng)5軸控制惰性氣體吹掃逆向動(dòng)力密封（適用于ATH400與ATH1300型）高流量應(yīng)用ATH400M,ATH1300M,ATH1600MATH2300andATH2800MT型是專為高壓、高流量的半導(dǎo)體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設(shè)計(jì)

    
    阿迪克森磁懸浮渦輪分子泵
    五大防腐特性
           自動(dòng)平衡系統(tǒng)
           嵌入式75加熱系統(tǒng)
           5軸控制
           惰性氣體吹掃
           逆向動(dòng)力密封（適用于ATH400與ATH1300型）
           高流量應(yīng)用     
       ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M ATH2300 and ATH 2800 MT型是專為高壓、高流量的半導(dǎo)體工業(yè)以及其他薄鍍膜工藝而設(shè)計(jì)。

      緊湊而現(xiàn)代的設(shè)計(jì)：
             可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速以優(yōu)化抽氣時(shí)的參數(shù)
             高平均*時(shí)間
             使用成本低
             低噪音低振動(dòng)
             無(wú)需電池
       應(yīng)用：
              玻璃鍍膜
              微處理系統(tǒng)加工
              離子束矯正
              電子顯微鏡
              空間模擬腔
              粒子加速器
              半導(dǎo)體工藝(刻蝕, CVD, 離子插入)
              鍍膜與薄鍍膜工藝
              離子銑
              以及許多研發(fā)實(shí)驗(yàn)