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產(chǎn)品簡介

伯東公司代理美國真空設(shè)備包括等離子增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積系統(tǒng)PECVD、電子束蒸發(fā)臺(tái)/熱阻蒸發(fā)臺(tái)E-beam/Thermal Evaporator、等離子刻蝕機(jī) RIE/ICP、磁控濺射系統(tǒng) Sputter、脈沖激光沉積/激光分子束外延 PLD/Laser-MBE。

詳細(xì)介紹

電子束蒸發(fā)臺(tái)/熱阻蒸發(fā)臺(tái)E-beam/Thermal Evaporator 產(chǎn)品特點(diǎn)包括：電源功率5 KW、坩堝容量40 CC、基板公自轉(zhuǎn)、基板加熱溫度350℃，PID控制、石英震蕩片膜厚監(jiān)控、極限真空3×10^-7Torr，無油泵、低溫泵（9000 L/sec）、膜厚均勻性<= ± 5%

電子束蒸發(fā)臺(tái)/熱阻蒸發(fā)臺(tái)E-beam/Thermal Evaporator應(yīng)用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜。

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