JXA-8230 電子探針顯微分析儀

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更新時間：2024-11-30 13:39:07瀏覽次數(shù)：18次

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廣州文明機電有限公司

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產(chǎn)品簡介

可以安裝通用性強、使用方便的能譜儀X射線探測器，組合使用WDS和EDS，能提供無縫、舒適的分析環(huán)境。

詳細介紹

檢測元素范圍	WDS：(Be)^*1 /B～U, EDS：B～U
X射線檢測范圍	WDS檢測的波長范圍: 0.087～9.3nm, EDS EDS檢測的能量范圍: 20keV
分光譜儀數(shù)量	WDS: 1～5道可選、EDS: 1臺
樣品尺寸	100mm × 100mm × 50mm（H）
加速電壓	0～30kV（以0.1 kV為步長）
束流電流范圍	10^-12 ～ 10^-5 A
束流電流穩(wěn)定度	5%/h, ±0.3%/12h（W）
二次電子分辨率	6nm（W）, 5nm（LaB₆）^*2 （W.D. 11mm, 30kV）
掃描倍率	×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm）
掃描圖像分辨率	5,120× 3,840
彩色顯示器	EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024
光學顯微鏡
分辨率	～1um
焦深	1um
真空系統(tǒng)	機械泵、分子泵、離子泵 ^*2
真空度	樣品室: 優(yōu)于8.0 x 10^-4Pa, 電子槍: 優(yōu)于9.0 x 10^-5Pa