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晶圓真空固化爐

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蘇州富屹坤電子設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途：本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品用途：
本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備，烘箱溫度可達(dá)450°c
性能特點(diǎn)：
?真空度可達(dá)10 Pa
?箱體內(nèi)氧含量：≤20ppm，提供氧含量檢測(cè)接口
?曰本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制

?內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

型號(hào)MODEL	SXYJ-1	SXYJ-2
內(nèi)箱尺寸（HWD) CM Interior dimensions	202040	303060
溫度范_ Temp.range	RT+20°C ?450°C
溫度波動(dòng)度 Temp.constancy	士 0.5°C
真空度 vacuum	lOpa
氧含量 oxygen content	≤20ppm
內(nèi)箱材質(zhì) Interior material	SuS316 不銹鋼 Stainless Steel Plate
外箱材質(zhì) Exterior material	鋼板靜電噴涂表面處理Baked Painting Steel
保溫材料 Insulatio material	硅酸錦纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton
保護(hù)裝置 Safety devices	聲光報(bào)警器超溫保護(hù)器Audible and visual alarm，Over Temp
功率（kva)	9.0	12.0
電源 Power	AC380V±10%3φ 50HZ