大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設(shè)備用于較大尺寸（最大尺寸為8英寸）襯底退火處理，設(shè)備采用電阻絲為加熱元件，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型，保溫性能好，電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型，美觀、節(jié)能；該設(shè)備還集成了真空以及供氣系統(tǒng)，滿足更多工藝條件要求。采用耐高溫金屬管為高溫爐管，滿足高溫工作條件，也能滿足真空或者一定的正壓條件實(shí)驗(yàn)要求，是一款潔凈的大尺寸樣品熱處理設(shè)備。

設(shè)備型號(hào)：LFT1200C450D254

額定電壓：380V

額定功率：13KW

最高溫度：1000℃

額定溫度：900℃

升溫速率：10℃/min

熱電偶類型：K型熱電偶

控溫精度:±1℃

極限真空度（選件）:1.0×10^-3Pa（機(jī)械泵+分子泵）

加熱元件：OCr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）

爐管尺寸（可根據(jù)客戶要求訂制）：內(nèi)徑245*600mm（含管堵）

外型尺寸（長(zhǎng)×深×高):1900*700*2100mm