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高真空探針臺冷熱型鄭州科探

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半導(dǎo)體制冷臺

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司為用戶提供了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺，高真空探針臺冷熱型鄭州科探該系統(tǒng)配置了溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫度控制，節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。

詳細(xì)介紹

高性價(jià)比真空高低溫探針臺系統(tǒng)

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司為用戶提供了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺，該系統(tǒng)配置了溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫度控制，節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。

配套了高精度PID溫度控制器，用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況，確保溫度測試的可靠性。同時(shí)，200W 大功率直流輸出，可讓樣品臺快速從-196℃上升至400℃，極大地提供了溫控效率，為用戶節(jié)省大量寶貴的實(shí)驗(yàn)時(shí)間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置，也大大地減少了加熱部件的干擾，提供了系統(tǒng) 的漏電精度。

高性能、寬溫度范圍的高低溫探針臺系統(tǒng)

除了高性價(jià)比入門級配置，鄭州科探儀器設(shè)備有限公司還為用戶研發(fā)了高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺系統(tǒng)。溫度控制系統(tǒng)，為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定且高效的溫度控制。

真空高低溫探針臺系統(tǒng)，使用國際上*溫度控制系統(tǒng)和傳感器，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度），溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。

多種真空度可選的高低溫探針臺系統(tǒng)

高低溫探針臺系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶，可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度，從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶，可選用分子泵組對系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達(dá)10^-3Pa。也可選配更高真空度的泵組，以滿足測試要求。

為了減少泵組的振動(dòng)，我們還專門為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。

可選多種樣品臺配置

普通的樣品夾具。們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具，用于超低漏電測試應(yīng)用中。所有樣品夾具表面均有鍍金層，增強(qiáng)樣品的導(dǎo)電性能。

*屏蔽及熱沉技術(shù)

待測器件的溫度會(huì)受到輻射及周邊部件熱傳導(dǎo)的影響，因此，如果沒有完善的熱錨技術(shù)，將無法得到精準(zhǔn)可靠的目標(biāo)溫度。由于傳感器只是安裝在恒溫器上，而不是安裝在的溫度實(shí)際將比您在控制器上觀察到的溫度要高出許多。

高真空探針臺冷熱型鄭州科探

四

應(yīng)用范圍：

l 光伏工業(yè)

l 材料科學(xué)

l 光電行業(yè)

l 失效分析

l 通信器件測試

l 微機(jī)電技術(shù)

l 高頻/微波測試

l 半導(dǎo)體技術(shù)

KT-Z1604T 高真空探針臺冷熱型 鄭州科探

真空腔體
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側(cè)開
加熱臺材質(zhì)	304不銹鋼
內(nèi)腔體尺寸	φ160x90mm
觀察窗尺寸	Φ70mm
加熱臺尺寸	φ60mm
觀察窗熱臺間距	75mm
加熱臺溫度	﹣196~350℃
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允許正壓	≤0.1MPa
真空抽氣口	KF25真空法蘭
氣體進(jìn)氣口	3mm-6mm卡套接頭
電信號接頭	SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
探針數(shù)量	4探針
探針材質(zhì)	鎢針
探針尖	10μm
探針移動(dòng)平臺
X軸移動(dòng)行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.01mm
Y軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Y軸控制精度	≤0.01mm
Z軸移動(dòng)行程	13mm ±12.5mm
Z軸控制精度	≤0.01mm
電子顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡
物鏡倍數(shù)	0.7-4.5倍
工作間距	90mm
相機(jī)	sony 高清
像素	1920※1080像素
圖像接口	VGA
LED可調(diào)光源	有
顯示屏	8寸
放大倍數(shù)	19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm