OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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產品型號OTL-PECVD-1200-1200

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更新時間：2023-07-05 15:32:48瀏覽次數(shù)：57次

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聯(lián)系人：張再芳

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產品簡介

產品摘要: OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點。

詳細介紹

產品描述

OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)詳細介紹：

OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)，由OTL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。

主要特點：

1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。

2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低。

3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小。

4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。

5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)以瑞典Kanthal電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點。

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

(1)、表面溫度高可達1420℃

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網站：

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好

2、安裝有空氣開關和漏電保護器：

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。

OTL-PECVD-1200-1200雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)技術參數(shù)：

型號	功率	爐管尺寸mm	外形尺寸mm	電源電壓
OTL-PECVD-1200-1200-60	3.5KW	φ60*1200	1200410610	220V
OTL-PECVD-1200-1200-80	3.5KW	φ80*1200	1200410610	220V
OTL-PECVD-1200-1200-100	3.5KW	φ100*1200	1200460660	220V
OTL-PECVD-1200-1200-150	5KW	φ150*1200	1200460660	220V